硅具有散熱性好、強(qiáng)度高、價格適中、純度高、耐腐蝕等優(yōu)點。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，硅材料的加工技術(shù)日趨成熟。硅材料首先用于生產(chǎn)這種產(chǎn)品。由于其良好的光潔度和成熟的加工工藝，可用于微泵、微閥、模具等器件。到目前為止，玻璃已經(jīng)廣泛應(yīng)用于該芯片的生產(chǎn)中，采用光刻和蝕刻技術(shù)可以將微通道網(wǎng)絡(luò)化在玻璃材料上，其優(yōu)點是具有一定的強(qiáng)度，散熱性、透光性和絕緣性都比較好，非常適合于通常的樣品分析。

　　微流控芯片采用類似半導(dǎo)體的MEMS技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流控系統(tǒng)。將實驗和分析過程轉(zhuǎn)移到由互連通道和液室組成的芯片結(jié)構(gòu)上。在裝載生物樣品和反應(yīng)液后，使用微機(jī)械泵。

　　電液泵和電滲流驅(qū)動緩沖液在芯片內(nèi)流動形成微流道，在芯片上進(jìn)行一個或多個連續(xù)反應(yīng)。激光誘導(dǎo)熒光（LIF）、電化學(xué)和化學(xué)檢測系統(tǒng)以及與質(zhì)譜聯(lián)用的多種檢測方法已被應(yīng)用于流控芯片中，以實現(xiàn)對樣品的快速、準(zhǔn)確和高通量分析。

　　微反應(yīng)器通常用于芯片實驗室的生化反應(yīng)，如毛細(xì)管電泳、聚合酶鏈反應(yīng)、酶反應(yīng)和DNA雜交等。其中，電壓驅(qū)動毛細(xì)管電泳易于在微流控芯片上實現(xiàn)，已成為發(fā)展快的技術(shù)。在芯片上刻蝕毛細(xì)管通道，樣品溶液在電滲流的作用下在通道中游動，完成樣品的檢測和分析。如果在芯片上構(gòu)建毛細(xì)管陣列，可以在幾分鐘內(nèi)完成數(shù)百個樣品的并行分析。